详细介绍:
特色 |
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尺寸
宽深高
1,481 x 1,407 x 2,080 mm³
灵活性：检查各种基板的能力
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系统能力 | |
机器规格 | |
UPH 单键臂（标准） 双键臂（可选） | 20,000 # 24,000 # |
XY位置 Die rotation Die size >= 1mm Die size < 1 mm | ± 25 µm @ 3σ |
物料处理能力 | |
模具尺寸 | 6 x 6 – 200 x 200 mil² (0.15 x 0.15 – 5.08 x 5.08 mm ² ) |
基板尺寸 长 宽度 特殊设计 标准 选项 厚 | 4.33” – 11.81” (110 – 300 mm) 1.18” – 1.97” (30 – 50 mm) 1.97” – 3.35” (50 – 85 mm) 1.97” – 3.94” (50 – 100 mm) 4.72 – 59.06 mil (0.12 – 1.5 mm) |
尺寸 长 宽度 身高 | 5.12” – 12.20” (130 – 310 mm) 1.38” – 4.72” (35 – 120 mm) 2.68” – 7.48” (68 – 190 mm) |
晶圆系统 | |
晶圆尺寸 | 5” (127 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm) |
| 工作人员制度 | |
| 加热器块（选件） | 温度200°C |
| 轨道宽度（可编程） | 30 – 101.6 mm |
